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什么是FPC?

喵了个妮6年前 (2021-05-06)1.04万

扫地僧9小时前64

首尔大学团队在5nm Hf0.5Zr0.5O2铁电电容上，采用等离子体工程(111)织构TiN电极抑制界面氧化，0.6V下实现饱和回线，2Pr=31.5 μC cm−2，经10^12次双极循环无硬击穿，为DRAM级亚伏电容提供新路径。…