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上海微电子前道干式光刻机模型亮相进博会
上海微电子在进博会展示SSC800、SSB800前道干式扫描投影光刻机剖视模型，适配I-line与KrF路线，关键零部件国产化率超90%，已进入规模化量产并在国内头部逻辑、存储产线稳定运行。…
上海微电子新一代前道干式光刻机平台亮相进博会
第九届进博会上，上海微电子自主研发的新一代前道干式光刻机通用技术平台模型首次公开展示。该平台适配I-line与KrF路线，核心部件实现自主可控，多台设备已在头部逻辑与存储产线稳定运行，累计流片超千万片。…
中国“卡脖子”的35项关键技术，如今攻破了多少？
2018年，科技日报曾推出系列文章，报道制约我国工业发展的35项“卡脖子”的关键技术，引起了广泛关注与讨论。如今，快5年过去了，这些技术都突破了吗？经过我们逐项查阅公开资料发现，目前我国至少已经攻破了21项关键技术，其他技术正在攻关或因其他原因而尚未公开。…
