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2026-10-31技术交流1355

2026-11-10信息快讯126

佳能将于2026年12月上旬发售KrF扫描式光刻机FPA-6400ES6a，面向存储与逻辑芯片制造。新机实现每小时400片晶圆产能和4.0nm套刻精度，并强化对大翘曲晶圆的处理能力，以应对先进封装与三维器件堆叠带来的工艺挑战。…