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EUV光刻

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2026-10-31技术交流1397

2026-11-10信息快讯57

DRAM产业正从DUV多重曝光转向EUV光刻，三星、SK海力士等头部厂商竞相采购EUV设备，以推进1c、1d等先进节点。ASML承认2027-2028年EUV供给存在缺口，存储客户已占其整机销售额46%，EUV成为先进DRAM竞赛的入场券。…